在現(xiàn)代工業(yè)生產(chǎn)和科學(xué)研究中,潔凈室是至關(guān)重要的環(huán)境,而塵埃粒子計(jì)數(shù)器就像一位忠誠的 “守護(hù)神",守護(hù)著潔凈室的純凈與安全。
潔凈室的等級(jí)劃分主要依據(jù)塵埃粒子的數(shù)量和粒徑大小。從 ISO 1 級(jí)到 ISO 9 級(jí),對(duì)塵埃粒子的控制要求越來越寬松,但即使是相對(duì)寬松的 ISO 9 級(jí)潔凈室,也對(duì)塵埃粒子有著明確的限制。塵埃粒子計(jì)數(shù)器是確定潔凈室等級(jí)和監(jiān)控其運(yùn)行狀態(tài)的關(guān)鍵儀器。它可以準(zhǔn)確測(cè)量潔凈室內(nèi)每立方米空氣中不同粒徑的塵埃粒子數(shù)量,從亞微米級(jí)到數(shù)微米級(jí)的粒子都能精確檢測(cè)。例如,在 ISO 1 級(jí)潔凈室中,每立方米空氣中大于等于 0.1 微米的塵埃粒子數(shù)不得超過 10 個(gè),這種超高精度的要求只有通過塵埃粒子計(jì)數(shù)器才能實(shí)現(xiàn)監(jiān)測(cè)。
在潔凈室的日常運(yùn)行中,塵埃粒子計(jì)數(shù)器持續(xù)工作,為維護(hù)潔凈環(huán)境提供依據(jù)。它可以設(shè)置不同的采樣周期和采樣點(diǎn),全面覆蓋潔凈室的各個(gè)區(qū)域。在芯片制造的潔凈室中,塵埃粒子計(jì)數(shù)器在晶圓加工區(qū)、光刻區(qū)、封裝區(qū)等關(guān)鍵部位設(shè)置采樣點(diǎn),實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)塵埃粒子的濃度變化。如果某個(gè)區(qū)域的塵埃粒子濃度突然升高,可能是空氣過濾系統(tǒng)出現(xiàn)故障、人員操作不當(dāng)或設(shè)備運(yùn)行產(chǎn)生的揚(yáng)塵等原因?qū)е?。通過塵埃粒子計(jì)數(shù)器的監(jiān)測(cè)數(shù)據(jù),工作人員可以迅速定位問題所在,并采取相應(yīng)的措施,如更換過濾器、加強(qiáng)人員培訓(xùn)或?qū)υO(shè)備進(jìn)行維護(hù)。
對(duì)于不同類型的潔凈室,塵埃粒子計(jì)數(shù)器都能發(fā)揮出色的作用。在制藥潔凈室中,它確保藥品生產(chǎn)環(huán)境的無菌性和穩(wěn)定性。在光學(xué)儀器制造潔凈室中,它防止塵埃粒子對(duì)光學(xué)鏡片和組件的污染,保證光學(xué)性能。在航空航天零部件制造潔凈室中,它避免塵埃粒子對(duì)高精度零部件的損害,保障產(chǎn)品質(zhì)量。而且,塵埃粒子計(jì)數(shù)器可以與潔凈室的空氣凈化系統(tǒng)、通風(fēng)系統(tǒng)等聯(lián)動(dòng)。當(dāng)檢測(cè)到塵埃粒子濃度超標(biāo)時(shí),可以自動(dòng)調(diào)節(jié)空氣凈化系統(tǒng)的運(yùn)行參數(shù),如增加空氣循環(huán)次數(shù)、提高過濾效率等,使?jié)崈羰冶M快恢復(fù)到規(guī)定的潔凈狀態(tài)。